전통적인 백색광 간섭 측정 방법은 진동 간섭에 매우 민감하며, 진동 간섭은 스캔 보폭 오차를 유발하여 백색광 간섭 측정의 정확도를 저하시킨다. 진동 간섭의 영향을 억제하기 위해 삼점 반정현 백색광 간섭 측정 알고리즘이 제안되었다. 삼점 반정현법은 간섭 영상 시퀀스에서 매 인접한 세 영상을 한 그룹으로 나누고, 스캔 중 간섭 무늬의 연속 이동 특성을 이용해 각 그룹 간섭 영상의 유효 무늬 영역에서 위상 편차를 계산하여 각 간섭 영상의 실제 스캔 보폭을 얻는다. 계산된 실제 스캔 보폭을 바탕으로 비등간격 보폭에서 변조도 및 위상의 최소 제곱 계산 방법을 구축하고 표면 높이를 재구성하였다. 보폭 계산에 세 장의 간섭 영상만 사용하므로 삼점 반정현법은 주파수 응답 대역폭이 넓어 빠르고 큰 스캔 보폭 오차를 탐지할 수 있다. 시뮬레이션 및 실험 결과 진동 간섭 하에서도 삼점 반정현법은 최대 0.5%의 측정 정확도(계단 높이 10 μm)를 달성하였으며, 다양한 구성 표면 형상 측정에 적합하다. 이론 분석 및 실험을 통해 삼점 반정현법은 다양한 형태의 스캔 보폭 오차 영향을 억제하여 광대역 진동 간섭 하의 백색광 간섭 측정에 적합함을 보였다.

표면 형상 측정; 백색광 간섭 측정; 거칠기; 진동