레이저 간섭을 이용한 다축 운동 플랫폼 수직도 측정

LUO Kaiyuan ,  

ZHENG Wenwei ,  

YANG Lin ,  

摘要

수직도 오차를 측정하는 일반적인 방법에는 실물 계량기법, 부피 측정법, CCD 측정법, 평면 격자 측정법, 레이저 추적기 측정법 및 레이저 간섭계 측정법 등이 있으며, 이들 방법은 조작이 번잡하고 사용 비용이 높거나 온라인 측정이 불가능하다는 단점을 공통적으로 가지고 있다. 이에 레이저 간섭계 원리를 기반으로 한 다축 운동 플랫폼 수직도 온라인 측정 방법을 제안하였으며, 레이저, 오각 분광 프리즘, 오각 프리즘, 직선도 간섭경, 직선도 반사경 등의 부품을 이용하여 다축 레이저 간섭 수직도 측정 장치를 구성하였다. 광로 설계를 통해 이 장치는 측정 대상 다축 운동 플랫폼에 설치되어 고효율, 고정밀 수직도 온라인 측정을 실현할 수 있다. 마지막으로 화강암 각자 측정 방법과의 정밀도 비교 테스트를 수행하였다. 테스트 결과 편차는 1.4″이며, 정규화 편차 En<1로 이상적인 결과를 나타내어 본 방법의 실현 가능성을 입증하였다.

关键词

계측학;레이저 간섭계;수직도;다축

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