준직광 빔이 공기 중에서 전파되면서 온도, 습도 및 압력의 무작위 변동과 같은 공기의 무작위 교란의 영향을 받아 레이저 직선 측정 기준에 무작위 진동이 발생하여 레이저 준직 측정의 안정성과 정확성에 영향을 미친다. 레이저 준직 신호 필터링 관점에서 경험적 모드 분해(EMD)와 최소 제곱법(LS) 피팅을 결합한 공기 무작위 교란 영향 억제 방법을 제안하였다; 공기 무작위 교란으로 인한 간섭 신호를 필터링하기 위해 레이저 준직 신호 분해, 재구성 및 보정 신호 처리 방안을 구축하였다; 제안한 방법을 다양한 조건에서 레이저 직선 기준에 대한 공기 교란 영향 억제 실험을 수행하고, 다양한 방법별 레이저 준직 신호 처리 효과를 비교하였다. 실험 결과, 제안한 방법은 레이저 드리프트 보상 후 레이저 준직 신호 처리 시 수평 방향과 수직 방향의 변동 표준편차가 각각 0.01 μm 및 0.02 μm로 나타나, 레이저 준직 측정에서 공기 무작위 교란이 직선 측정 기준 안정성에 미치는 문제를 효과적으로 해결하였다.

레이저 준직;직선 기준;공기 교란;경험적 모드 분해