접촉식 및 백색광 간섭계 측두 복합 측정 좌표 통일 및 데이터 융합

CHENG Zhenying ,  

XU Dongjian ,  

ZHANG Chengyao ,  

LIU Yunlong ,  

LI Ruijun ,  

摘要

복합 측정에서 두 측두 공간 좌표계 불일치 문제를 해결하기 위해 보정기가 제공하는 기준점을 기반으로 단위 쿼터니언 법을 결합하여 공간 변환 행렬을 구하는 좌표 통일 방법을 제안했으며, 좌표 통일 효과를 평균 제곱근 오차(RMSE)로 평가했다. 좌표 통일을 위한 안정적이고 신뢰할 수 있는 기준점을 제공하기 위해 새로운 형태의 보정기를 설계 및 제작하고, 기준점 정밀도와 좌표 통일 정밀도 간의 관계 모델을 구축했다. 두 측두 측정 데이터에 대해 공간 오차 타원체 탐색 전략과 가중 최소제곱법을 결합한 데이터 융합 방법을 제안했다. 실험 결과 복합 측정의 좌표 통일 등록 정밀도가 1.889 μm에 달하며, 제안한 데이터 융합 방법은 전통적인 가중 최소제곱법에 비해 상대 오차를 16% 감소시키고 반복 정밀도를 38% 향상시켜, 복합 측정의 고정밀 좌표 통일과 안정적이고 정확한 데이터 융합을 실현하여 장치의 측정 능력을 향상시켰다.

关键词

접촉식 측두; 백색광 간섭계 측두; 복합 측정; 좌표 통일; 데이터 융합

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