비교 교정은 센서 측정 정확도를 유지하고 향상시키는 데 중요한 의미가 있지만 현장 환경 제한에 쉽게 영향을 받고 비용이 많이 듭니다. 전기장식 시간격자의 정밀도는 지속적으로 갱신되고 있으며 외부 기준을 찾는 것도 점점 어려워지고 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 원주 폐쇄 원칙을 기준으로 하여 푸리에 급수의 이동 법칙을 이용하여 전기장식 시간격자의 오차 시퀀스 값을 2π/n 각 변위 값만큼 위상 이동시키고, 다른 위상 이동 횟수를 가진 오차 시퀀스를 이용해 주파수 분석을 수행하여 누락된 고조파 성분을 상호 보상하며, 최종적으로 각 차수 고조파 성분을 이용해 센서 오차 함수를 재구성하는 자기 교정 방법을 제안했습니다. 이에 따라 해당 자기 교정 실험 플랫폼을 설계 및 구축하였습니다. 실험 결과 해당 자기 교정 방법은 전기장식 시간격자 각 변위 센서에 포함된 주기적 오차 보상에 대해 뛰어난 효과를 보여주었습니다. 극 내에서는 해당 자기 교정 방법을 사용했을 때 광격자를 참조 기준으로 사용했을 때 얻은 교정 정확도와 거의 동일하며 두 오차는 0.05"이고, 극 내 오차는 67% 감소했습니다. 전체 범위 내에서는 두 오차가 0.15"이고 전체 오차는 80% 감소했습니다. 해당 자기 교정 방법은 기존 비교 교정 방법에 비해 효율성, 응용 범위 및 교정 비용 측면에서 뚜렷한 장점을 가지고 있습니다.

전기장식; 각 변위 센서; 자기 교정; 오차 위상 이동; 고조파 성분