웨이퍼 고속 촬영 시스템의 노출 제어는 영상 품질에 중요한 영향을 미친다. 공간 영역 평가 기반의 전통적인 노출 제어 알고리즘은 계산이 복잡하고 입자 특성 차이를 무시하여 노출 불균일을 초래하기 쉽다. 이를 위해 이미지 분할 주파수 영역 평가 기반의 노출 제어 방법이 제안되었다. 이 방법은 블록 단위의 이중 임계값 분할 알고리즘을 사용하여 입자 영상의 특징 영역을 적응적으로 분할하고, 고역 통과 필터와 가우시안 피라미드 알고리즘을 결합하여 주파수 영역에서 영상의 고주파 정보를 빠르게 추출하며, 영역 가중 평가 함수를 설계하여 노출 효과를 종합적으로 평가한다. 최대 노출 시간 내에 최적 노출 파라미터를 빠르게 탐색하기 위해 결정 트리 기반의 가변 스텝 크기 탐색 알고리즘이 제안되었다. 비교 실험 결과, 이 탐색 알고리즘은 정확도를 보장하면서 최적 영상의 평균 품질 지표를 1.34% 향상시키고 노출 파라미터 조정 시간을 61.3% 단축하여 웨이퍼 고속 촬영 과정에서 영상 품질을 보장한다.

노출 제어;주파수 영역 분석;영상 평가 함수;가변 스텝 탐색;결정 트리