광장식 시격 공간 변조 함수 특성 분석 기반 보조 조립 보정 시스템 연구

JIN Chongyu ,  

FU Min ,  

DENG Jingyue ,  

GOU Li ,  

RAN Maoming ,  

摘要

변위 센서의 조립 정밀도는 센서의 측정 정확도를 직접 결정하며, 보조 보정 시스템은 정밀 조립을 실현하는 핵심입니다. 본 논문은 광장식 시격 구조 특성과 측정 원리를 기반으로 출력 신호의 공간 변조 함수와 조립 간의 관계를 분석하고, 센서 출력 측정 신호를 설치 지표로 하는 보조 조립 보정 시스템을 제안합니다. 광장식 시격 센서의 측정 원리와 실제 조립 구조를 결합하여 이동 및 고정 자 설치 자세가 측정 오차에 미치는 영향을 연구하였으며, 구름각 보정을 설치 자세 보정의 주요 목표로 설정하였습니다; 구름각과 측정 신호 관련 수학 모델을 구축하고, 해당 함수 모델을 기반으로 원시 측정 신호를 이용해 보정 지표를 얻는 보조 조립 보정 시스템을 설계하였습니다. 실험 결과, 해당 시스템은 구름각 보정 매개변수를 직관적으로 제공하여 사용자가 조립 보정을 수행하는 데 도움을 주며, 광장 시격 센서의 원시 오차를 ±1.3 μm까지 줄일 수 있으며, 간단한 구성과 통합 용이성의 장점을 가집니다.

关键词

시격; 광격; 조립 오차; 구름각

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