공로 전단 기반 디지털 홀로그래피 자기 참조 포커싱 현미경 영상

HUANG Linlin ,  

LIU Bingcai ,  

WANG Hongjun ,  

ZHANG Xueling ,  

ZHANG Ping ,  

ZHANG Ruixuan ,  

TIAN Ailing ,  

摘要

공로 전단 기반의 디지털 홀로그래피 자기 참조 포커싱 현미경 영상법을 제안하였다. 본 방법은 편광 격자의 분광 특성을 이용하여 이중 편광 격자의 전단 장치를 설정했으며, 샘플 정보를 담은 물광을 복제하였다. 두 이중 편광 격자 간의 거리를 조절하여 카메라 상의 현미경 상과 홀로그램 간섭 상 사이의 거리를 유연하게 제어함으로써 현미경 상과 홀로그램 간섭 상을 동시에 기록할 수 있었다. 현미경 상과 홀로그램 간섭 상이 동시에 기록된 기초 위에서 여러 개의 디포커스-포커스-디포커스 이미지를 기록하고, Brenner 그래디언트 방법을 이용해 카메라에 기록된 다중 디포커스-포커스-디포커스 이미지 내 현미경 영상 영역의 포커스를 평가하여 최적 포커스 이미지를 찾아 자기 참조 포커싱을 완성하였다. 동시에 각 스펙트럼 방법을 이용해 최적 포커스 이미지 내 간섭 영역에 대해 위상 재구성을 수행하였다. 마지막으로 위상 분해능판을 실험 샘플로 사용해 제안한 방법의 타당성을 검증하였다. 실험 결과 위상 분해능판의 높이는 0.336 μm이고 평균 절대 오차는 0.023 μm이며, 제안한 방법은 높은 정확도, 우수한 안정성 및 컴팩트한 구조의 장점을 갖는다.

关键词

디지털 홀로그래피;현미경 영상;자기 참조 포커싱;공로 전단

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