摘要
광섬유 정렬용 비구면 마이크로렌즈 배열의 가공 정밀도와 가공 효율을 향상시키기 위해 비구면 마이크로렌즈 배열 금형 가공 정밀도 제어 및 면형 오차 보상 방법과 이론에 대해 심도 있게 연구하였다. 비구면 마이크로렌즈 배열 설계의 광학 기하학적 구조 특성에 따라 국부 나선형 다이아몬드 밀링 방법을 제안하여 인산화 니켈 합금 금형 재료를 가공하였으며, 금형 재료와 유리 재료의 고온 특성과 공정 매개변수로 인해 발생하는 면형 오차 문제에 대해 비구면 마이크로렌즈 배열 금형 보상 방법을 제안하였다. 금형 윤곽 보상 설계를 통해 성형 압축 정밀도를 향상시키고 광학 성능을 향상시켜 10×10 비구면 마이크로렌즈 배열의 고정밀 제조를 실현하였다. 실험 결과 비구면 마이크로렌즈 배열의 면형 오차 PV가 220~380 nm로 제어되었으며 표면 거칠기 Ra는 7~10 nm에 달했다. 이 방법은 비구면 마이크로렌즈 배열의 고정밀 고효율 대량 제조를 위한 효과적인 기술 경로를 제공한다.
关键词
초정밀 가공; 나선형 다이아몬드 밀링; 비구면 마이크로렌즈 배열; 유리 금형 성형; 면형 오차
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