이중 광빗 기반 정밀 원심분리기 동적 반경 외부 기준 측정

ZHOU Siyu ,  

MA Yuxuan ,  

HE Dong ,  

ZHANG Chunjing ,  

TANG Li ,  

LIU Xin ,  

WANG Shanshan ,  

WU Guanhao ,  

摘要

정밀 원심분리기의 동적 반경을 정확하게 측정하기 위해, 이중 광빗 거리 측정 기술의 고속, 고정밀, 절대 거리 측정의 장점을 바탕으로, 원통면 거울과 집광 광로로 구성된 공간 광학 배치를 결합하여 원심분리기의 동적 반경 외부 기준 측정 시스템을 구축하였다. 이중 광빗 거리 측정 기반 외부 기준 측정 장치의 구성 및 작동 원리를 소개하고, 원통면 거울 표적 곡률 반경 오차 및 조립 오차가 동적 반경 측정 정밀도에 미치는 영향을 분석하였으며 상호 보상 오류 수정 방법을 제안하였다. 이후 실험 시스템을 구축하여 정밀 원심분리기를 다양한 가속도 하에서 실시간으로 동적 반경을 측정하고 정적 측정 정확도와 동적 측정 정확도를 평가하였다. 마지막으로 측정 오차의 원인을 분석하고 시스템 최적화 방안을 제안하였다. 실험 결과, 시스템은 0g에서 15g 범위 내 가속도에서 동적 반경 변화를 효과적으로 측정할 수 있음을 보여주었다. 2kHz 무거운 주파수 차이에서 20회 이동 평균 수행 시 동적 측정 정확도는 0.56μm보다 우수하며, 최대 동적 반경 값은 204.90μm로 정밀 원심분리기의 동적 반경 고속, 고정밀 측정 요구를 충족시키며 원심분리기 가속도 보정 정확도 향상에 활용될 수 있다.

关键词

절대 거리 측정;정밀 원심분리기;동적 반경;외부 기준;이중 광빗

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