얇은 껍질 부품 내부 표면의 고품질 초정밀 연마를 실현하기 위해, 자기 제어 자기 유변탄성체(Magnetorheological Elastomer, MRE) 연마 원리에 기반한 균일 연마 방법을 제안하였다. 이 방법은 얇은 껍질 부품 외부 표면에 자기장을 가하여 MRE가 내부 표면에 가하는 압력을 정밀하게 제어함으로써 내부 표면의 균일한 연마를 달성한다. COMSOL Multiphysics 소프트웨어를 이용하여 MRE의 자기-탄성 결합 수치 시뮬레이션을 수행하고, 부품 표면의 연마 압력 및 분포를 결정하며, 연마 영역의 속도 분포를 얻고, Preston 방정식을 기반으로 연마 제거 함수 모델을 구축하였다. 이후 해당 모델을 이산화 샘플링하고, 재료 제거량 벡터를 유도하며, 비음수 최소제곱법을 사용하여 연마 영역 각 지점의 체류 시간을 계산하였다. 마지막으로 자기장 강도 0.32 T 조건에서 자기 제어 MRE 연마 장치를 사용하여 크기 60 mm×60 mm×1 mm인 용융 석영 유리 가공품에 대해 78분간의 연마 실험을 수행하였다. 실험 결과, 연마 영역 각 체류 지점의 시간을 제어함으로써 자기 제어 영역의 표면 재료 평균 제거 깊이는 84.4 nm이고, 제거 깊이 변동 범위는 10.9%로 표면의 균일한 연마를 실현하였다. 이를 통해 본 방법이 얇은 껍질 부품 내부 표면의 균일 연마를 실현하는 데 효과적임을 입증하였다.

초정밀 가공;균일 연마;얇은 껍질 부품;자기 유변탄성체;제거 깊이;자기장