摘要
진공 흡착 클램핑은 렌즈에 균일한 힘을 가하여 표면 긁힘을 줄일 수 있으며 광기계 시스템 가공 및 조립 분야에서 널리 사용됩니다. 박판 평면 렌즈 면형에 대한 진공 흡착의 영향을 연구하기 위해 원주 단순 지지판 변형 이론과 박판 이론을 기반으로 렌즈와 고정구 간의 다양한 접촉 상태 및 다양한 진공도에 따른 렌즈 변형 영향을 분석하였습니다. 유체-고체 결합 모델을 구축하여 서로 다른 음압 조건에서 렌즈 면형에 미치는 영향을 분석하고 진공 흡착을 통한 렌즈 면형 조절 방법의 타당성을 검증하였습니다. 마지막으로 흡착 클램핑 실험을 통해 음압 전후의 렌즈 면형 변화를 분석하였습니다. 실험 결과, 음압 흡착 전후로 렌즈 흡착면의 면형 오차가 10 μm 내에서 7 μm 내로 감소하였으며, 렌즈와 고정구 사이의 간극이 9 μm 에서 4 μm 이내로 줄어 최소값은 0.8 μm였습니다. 음압 흡착은 렌즈 흡착면의 면형을 고정구 면형에 더 가깝게 하여 진공 흡착을 통한 렌즈 면형 조절 방법의 유효성을 입증하였습니다. 본 논문에서 제안된 진공 흡착 클램핑을 통한 렌즈 면형 조절 방법은 렌즈 가공 및 조립 정밀도를 향상시키고, 렌즈 초기 면형 오차가 광기계 시스템에 미치는 영향을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
关键词
진공 흡착; 평면 렌즈; 흡착 구멍형 고정구; 클램핑 변형; 면형 조절
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