광학 곡면의 편향 측정 기술: 원리, 도전 과제 및 전망 (초청)

ZHANG Xiangchao ,  

NIU Xingman ,  

HAO Siyuan ,  

LANG Wei ,  

LI Pingfeng ,  

LIU Ruiyang ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

편향술은 측정 시스템이 간단하고 동적 범위가 넓으며 간섭 저항 능력이 뛰어나 복잡한 광학 곡면의 형상 및 결함 검출에 독특한 장점을 가지고 있습니다. 그러나 편향 측정은 조작이 복잡하고 영향 요인이 많으며 데이터 전달 체인이 길어 공학 실무에서의 적용이 심각하게 제한됩니다. 이에 본문에서는 편향술의 작동 원리와 발전 과정을 소개하고, 구조 설계, 시스템 보정, 부호화 및 물상-영상 매칭, 적분 재구성을 포함한 주요 측정 단계를 나열하였습니다. 측정 정확도에 영향을 미치는 여러 핵심 요인들, 즉 카메라 모델 단순화, 높이-기울기 모호성, 위치-각도 측정 불확실성, 적분 재구성의 미정문제 등을 분석하였습니다. 이어서 편향술의 주요 적용 사례와 향후 발전 방향을 제시하여 정밀 측정 분야의 연구자 및 대학원생들이 편향 측정 방법을 숙지하고, 측정 정확도 향상의 주요 경로를 명확히 하며, 국내 정밀 공학 및 첨단 제조 분야의 기술 발전과 산업 발전을 촉진하는 데 도움을 주고자 합니다.

关键词

정밀 측정;편향술;광학 곡면;오차 분석;결함 검출

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