광학 영상 원리에 기반한 저간섭 현미경 간섭은 미세 구조 표면의 3차원 형상을 효과적으로 재구성할 수 있다. 그러나 고심폭비 구조의 바닥 형상을 측정하는 과정에서 탐지광은 구조의 변조로 인해 파면 왜곡이 발생하여 측정 실패를 초래한다. 시뮬레이션 계산을 통해 미세 구조의 수차 변조 규칙을 얻을 수 있어 수차 보정 및 보상에 대한 선행값을 제공한다. 벡터 회절 기반의 전자기 시뮬레이션 방법은 고심폭비 미세 구조가 일으키는 복잡한 비선형 변조를 정확하게 묘사할 수 있지만, 이러한 방법은 데이터 용량이 크고 계산 효율이 낮아 효과적인 3D 시뮬레이션 모델 구축이 어렵다. 이를 해결하기 위해 근거리장과 원거리장을 결합한 수차 시뮬레이션 방법을 제안하여 시뮬레이션 계산 효율을 향상시켰다. 전파 전체 시뮬레이션 기반 시분할 유한차분법을 사용하여 3D 시뮬레이션에서 고심폭비 미세 구조가 탐지 광장을 변조하는 과정을 계산하여 미세 구조로 변조된 탐지광의 근거리장 분포를 얻고, 대역 제한 축각 스펙트럼 방법을 통해 탐지광의 근거리장 분포를 원거리장으로 전달하여 변조 수차 계산을 구현하였다. 실험 장치를 통해 다양한 시편의 변조 수차를 측정하여 본 방법의 정확성을 검증하였으며, 시뮬레이션 결과는 동일한 시뮬레이션 정밀도에서 본 방법이 계산 속도를 1배 이상 향상시켰음을 보여준다.

저간섭 현미경 간섭; 시편 변조 수차; 시분할 유한차분법; 대역 제한 축각 스펙트럼; 고심폭비 미세 구조