고경사 곡면 광학 부품의 가상 축 자기유변 연마

FU Zhiwei ,  

ZHOU Tao ,  

ZHANG Guimei ,  

XIE Bingxian ,  

SU Xing ,  

HUANG Wen ,  

HAI Kuo ,  

摘要

전통적인 연마휠 상부 배치형 자기유변연마기계가 고경사 곡면 광학 부품 가공 시 공정 한계를 극복하고, 기존 가상 축 기술이 소각도 범위에만 적용되는 제한을 해결하기 위해, 연마휠 하부 고정형 기계 축과 가상 축 복합 연동 연마 기술을 제안하였다. 연마휠 하부 배치형 자기유변연마기의 구조적 특징을 기반으로 Denavit-Hartenberg(DH) 법을 적용하여 기계 축과 가상 축 복합 연동 연마 후처리 모델을 구축하고, 기하학적 방법으로 이론적 검증을 수행하였다. 가상 축 오목 구면 샘플링 실험 및 직경 150mm, 곡률 반경 150mm 용융 석영 오목 구면에 대한 균등 연마 실험을 통해 후처리 모델의 정확성을 검증하였다. 마지막으로 직경 170mm, 곡률 반경 158mm, 최대 법선 각도 32.54°의 용융 석영 오목 구면에 대해 연마 및 형상 수정 실험을 수행하였다. 실험 결과, 형상 수정 후 테두리 5mm인 공작물 표면 형태 PV 값이 0.04λ로 수렴하고 RMS 값이 0.005λ로 수렴함을 확인하였다. 제안한 기계 축과 가상 축 복합 연동 연마 모델은 높은 정확성을 가지며, 고정밀·고경사 곡면 광학 부품 가공 능력을 효과적으로 향상시킬 수 있어, 자기유변 연마 기술의 고경사 복합 곡면 광학 부품 가공 적용에 중요한 참고 자료를 제공한다.

关键词

자기유변 연마;고경사 곡면;가상 축;하부 배치;후처리

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