이중 거울 물체의 두 작업면의 형상과 상대 자세를 동시에 측정하기 위해 이중 거울 물체 공기준 형위 측정 시스템을 구축하고 시스템 보정 및 공기준 보정을 완료하기 위해 이중 거울 보정판을 설계 제작하였다. 먼저, 이중 거울 보정판을 사용하여 이중 거울 물체 공기준 형위 측정 시스템을 구성하는 두 하위 시스템의 깊이 및 횡방향 보정을 수행하고, 절대 위상과 깊이, 픽셀 좌표와 공간 X, Y 좌표 간의 관계를 구축하였다. 그리고 공간 제약 관계를 이용하여 공기준 보정을 수행하여 이중 거울 보정판 제작 오차로 인한 보정 정확도 저하 문제를 피함으로써 두 좌표계에 위치한 3D 점군을 하나의 기준 좌표계로 변환하였다. 마지막으로 구축된 이중 거울 물체 공기준 형위 측정 시스템을 이용하여 거울 계단과 고정밀 백강량측을 각각 실제 측정 실험하였다. 실험 결과,량측 두 표면 간 거리의 평균 오차가 0.076 mm로 공기준 보정 방법이 이중 거울 전체 3D 형상 측정에 효과적임을 보여주었다; 그러나 하위 시스템이 측정한 거울 계단 인접 두 면 사이 거리의 최대 절대 오차가 0.032 mm로 공기준 보정 오차가 시스템 측정 정밀도를 저하시켰음을 나타내었다. 향후 연구는 공기준 보정 방법의 최적화를 통해 이중 거울 물체 공기준 형위 측정 시스템의 정밀도를 향상시키는 데 중점을 둘 것이다.

위상 편향 측정술; 이중 거울 물체; 공기준; 거울 형상