이중 프리즘 기반 전시야 외차 간섭 측정

JIAO Qilu ,  

ZHU Conghui ,  

LYU Tong ,  

WU Zhou ,  

ZHANG Wenxi ,  

摘要

전시야 외차 간섭계의 측정 적용성을 향상시키고寄生파(기생파)와 혼주가 간섭계 측정 결과에 미치는 영향을 줄이며, 고정밀 저잡음 동적 간섭 측정을 실현하기 위해 이중 프리즘 기반의 신형 간섭계 구성을 제안하였다. 이 시스템은 전시야 외차 동적 간섭 측정 기술에 적용할 수 있으며, 혼주가 측정 결과에 미치는 영향을 해결하고, 기생파가 측정 결과에 미치는 영향을 더욱 줄이며, 광섬유에서 방출되는 이상적인 빛을 참고면 대신 사용하여 참고면의 비균일성이 측정 정밀도에 미치는 영향을 피할 수 있다. 간섭계의 기본 구성을 설명하고, 측정 원리를 기술하였으며, 제안된 이중 프리즘 구조의 기생파를 모델링하고 시뮬레이션하였으며, 혼주 오차를 논증하고, 기생파와 혼주 상황에 대한 실험 검증을 수행하였다. 실험 결과는 다음과 같다: 발산 구조의 기생파는 평행광 구조의 기생파에 비해 최대 3.2배 차이나며, 해당 구성은 혼주 요인의 영향을 받지 않으며, 반사율 3%의 요소를 측정할 때 도입된 표면 형상 측정 오차가 타이먼 구성에 비해 0.0155λ 우수하며, 시뮬레이션 결과와 일치한다. 이중 프리즘 기반 전시야 외차 간섭 측정 기술은 측정 적용성을 향상시키고, 기생파 혼주가 간섭계 저주파수 측정 결과에 미치는 영향을 줄이며, 혼주 영향을 억제하고, 간섭계 측정 정밀도를 더욱 향상시킨다.

关键词

간섭 측정; 이중 프리즘 구성; 전시야 외차; 기생파; 혼주

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