광학 렌즈의 중심 편차 측정 정확도에 대한 요구가 점점 높아짐에 따라, 본 논문에서는 전장 홀륭 간섭을 기반으로 한 중심 편차 측정 방법을 제안한다. 이 방법은 실제 렌즈 광축을 측정 기준으로 사용하며, 측정 대상 렌즈의 반사 광선과 기준 광선이 생성하는 간섭 무늬를 측정하여 파면을 얻고 Zernike 다항식 피팅을 수행한다. 이후 Zernike 기울기 항 계수를 측정 렌즈의 중심 편차로 변환하여 중심 편차의 고정밀 측정을 실현하며, 외부 회전대에 대한 의존성을 해결한다. 홀륭 간섭 및 중심 편차 검출 원리를 기반으로, 레이저 세기 변동과 홀륭 주파수 변동이 파면 및 중심 편차 측정 결과에 미치는 영향을 분석하였다. 결과는 측정 오차가 레이저 세기 변동 및 홀륭 주파수 변동과 양의 상관관계가 있으며, 측정 대상 렌즈의 곡률 및 중심 편차의 영향을 받는 것을 보여준다. 홀륭 간섭 기반 중심 편차 측정 시스템을 구축하여 중심 편차의 고정밀 측정을 구현하고 시뮬레이션 결과와 비교하였다. 시뮬레이션 결과는 본 시스템의 측정 정밀도가 0.06″ 이상임을 나타내며, 실험을 통해 시뮬레이션 결과를 검증하였다. 연구 결과는 기존 자기 정준법 중심 편차 측정 방법과 비교하여, 홀륭 간섭 측정 방법이 더 높은 측정 정밀도를 구현할 수 있음을 보여준다.

홀륭 간섭; 간섭 측정; 중심 편차; 장비 조정