전통적인 변위 센서가 대범위와 고정밀 측정을 동시에 충족하지 못하는 문제를 해결하기 위해 구 배열 기반의 자기 저항형 시격자 변위 측정 신방법을 제안하였다. 공간 직교 자극 코일을 이용해 직교 변화를 갖는 자기장을 형성하고, 공간 주기적 감지 구조를 통해 자기장 제약 제어를 정밀하게 수행하였다. 유도 코일을 사용해 자기장 변화를 감지하고 자기 저항과 변위 간 대응 관계를 설정하여 변위 센싱 기전을 규명하였다. 전자기 시뮬레이션을 통해 모델 매개변수를 최적화하였고, 센서를 제작하여 실험 플랫폼을 구축하고 센서 측정 오차 실험 연구를 수행하였다. 실험 결과에 따르면 센서는 512 mm 측정 범위 내에서 ±9.4 μm의 측정 오차와 0.1 μm 분해능을 보였다. 밀리미터급 센서 유닛을 사용해 마이크로미터급 측정 정밀도를 달성하였으며, 센서 제조 난이도를 크게 낮추었다. 측정 범위는 필요에 따라 확장 가능하며, 세분화 기술 없이 고분해능 변위 측정이 가능하다. 강한 유분 오염 등 열악한 환경에서의 변위 측정에 활용될 수 있으며, 중요한 학술적 및 공학적 가치를 지닌다.

구 배열;시격자 센서;자기장 제약;직선 변위