직접 위상 편차 측정 시스템에서 두 디스플레이 굴절 오차 보상

TIAN Xiuxiu ,  

NI Yubo ,  

MENG Zhaozong ,  

GAO Nan ,  

YANG Zeqing ,  

ZHANG Guofeng ,  

YIN Wei ,  

ZHAO Hongwei ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

직접 위상 편차 시스템에서는 액정 디스플레이(LCD)와 투명 디스플레이(TD)의 특수한 구조로 인해 측정 과정에서 빛이 굴절되어 위상 편차가 발생합니다. 따라서 보상 시스템에서 LCD와 TD의 굴절 오차를 보정하는 방법이 제안되었습니다. 이 방법은 두 디스플레이를 단일 투명 층 구조로 모델링하고 광선 추적 알고리즘을 이용하여 측정 과정 중 굴절 오차 모델을 구축하며, 광선의 전파 경로를 분석하여 위상 편차를 구하는 데 필요한 매개변수를 결정합니다. 이후 다중 스테레오 비전 기술과 최적화된 신뢰 영역 반사 알고리즘을 결합하여 두 디스플레이의 굴절 매개변수를 보정하고, 시스템 내 기하학적 관계를 바탕으로 보정 측정 과정에서 굴절 각도를 분석합니다. 마지막으로 유도된 공식을 활용하여 시스템 내 깊이 정보를 보상하고 픽셀 단위로 위상 편차를 수정하여 측정 시스템의 정밀도를 향상시킵니다. 실험 결과, 본 방법으로 굴절 오차를 보정한 후 거울형 환상 계단면 간 최대 절대 오차가 33 μm에서 21 μm로 감소하였고, 오목 반사경과 평면경 혼합 거울을 측정할 때 면 형상 평균 제곱근 오차가 38.55 μm에서 24.92 μm로 줄어들었으며, 시스템 전체 측정 정밀도가 30%~40% 향상될 수 있음을 보여주었습니다. 이 방법은 두 디스플레이의 굴절 오차를 효과적으로 줄여 시스템의 거울면 3차원 형상 측정 정밀도를 높였습니다.

关键词

3D 측정; 직접 위상 편차 측정법; 액정 디스플레이; 투명 디스플레이; 굴절 오차

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