중공 유리 미립자를 기반으로 한 다층 회절 광도파로 렌즈 고정밀 조립 간격 제어

BAI Jiarong ,  

YAO Peng ,  

LIU Kai ,  

LIU Xiang ,  

WANG Xi ,  

LI Fengguo ,  

CHU Dongkai ,  

HOU Shijie ,  

QU Shuoshuo ,  

摘要

증강현실 광학 모듈에서 다층 회절 광도파로 렌즈 적층 조립의 간격 정밀도 제어 요구에 대해, 중공 유리 미립자를 기반으로 한 정밀 간격 제어 방법이 제안되었다. 이론 계산과 광학 시뮬레이션을 통해 회절 광도파로 렌즈가 영상 요구를 만족시키기 위한 허용 간격 오차를 도출하였다. 이후 분류 공정을 설계하고 독자적으로 체분 장비를 구축하여 특정 입도 분포의 중공 유리 미립자를 확보하고, 초정밀 간격 표준 물질로 사용하여 회절 광도파로 렌즈 적층 조립 간격을 정밀하게 제어하였다. 마지막으로 독자 개발한 고정밀 회절 광도파로 렌즈 적층 시스템을 이용하여 다층 회절 광도파로 렌즈 적층 조립 실험을 완료하였다. 실험 결과 분류된 중공 유리 미립자는 형태가 양호하고 입도 분포가 더욱 집중되었으며, 평균 입경은 38.36 μm, 표준 편차는 1.60 μm였다; 50개 조립 샘플의 간격 오차 검증을 통해 62% 샘플이 고품질 영상 요구를 만족시키고, 98% 샘플이 기본 영상 요구를 만족하는 것으로 나타났다. 이 정밀 간격 제어 방법은 다층 회절 광도파로 렌즈 적층 조립의 간격 정밀도와 오차 범위를 충족할 수 있어 향후 적용 가능성이 크다.

关键词

회절 광도파로 렌즈;중공 유리 미립자;적층 조립;입경 정밀도;간격 오차

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