증강 현실 광학 모듈 다층 적층 조립에서 간격 정밀도 제어 요구를 충족하기 위해 빈 유리 마이크로 구슬을 기반으로 한 정밀 간격 제어 방법을 제안한다. 이론적 계산과 광학 시뮬레이션을 통해 이미징 요구를 충족하는 다층 광학 모듈 허용 간격 오차를 구한 후 분류 공정을 설계하고 스스로 구축한 분류 장비를 사용하여 특정 입경 분포의 빈 유리 마이크로 구슬을 얻고 광학 모듈 조립 간격의 정밀 제어를 위한 초정밀 표준 물질로 사용할 것을 제안한다. 마지막으로 자체 개발한 고정밀 다층 광학 모듈 조립 시스템을 사용하여 다층 광학 모듈 조립 실험을 완료하였다. 실험 결과는 분류된 빈 유리 마이크로 구슬이 좋은 형태를 가지며 크기 분포가 보다 집중되며 평균 입경은 38.36μm이고 표준 편차는 1.60μm임을 확인하였다. 50개의 광학 모듈 조립 샘플의 간격 오차를 확인한 결과, 62%의 샘플이 고품질 형상 조건을 충족시킬 수 있으며 98%의 샘플이 기본 이미징 조건을 충족시킬 수 있음을 확인하였다. 이 정밀 간격 제어 방법은 다층 광학 모듈 조립의 간격 정밀도와 오차 범위 요구 사항을 충족시킬 수 있으며 좋은 응용 전망을 가지고 있다.

광학 모듈; 빈 유리 마이크로 구슬; 조립; 입경 정밀도; 간격 오차