작은 관성 로터의 명확한 되돌아가는 움직임을 억제하여 효율적이고 안정적인 점착-슬립 운동을 실현하기 위해 능동 관성 보상을 기반으로 한 신형 압전 회전 구동기 설계를 제안하였다. 능동 관성 보상과 구동 전압 타이밍 최적화를 통해 로터의 되돌아가는 움직임을 억제하여 속도 및 운동 평활성을 향상시켰다. 능동 관성 보상법을 기반으로 구동기의 작동 원리를 분석하였다. 구동기 구조를 분석 및 시뮬레이션하고 능동 관성 보상 유무에 따른 효과를 비교하여 능동 관성 보상법의 타당성을 이론적으로 검증하였다. 또한 작은 관성 로터를 구동하는 실험 시스템을 구축하여 출력 성능에 대한 일련의 시험을 수행하였다. 실험 결과 능동 관성 보상이 로터 되돌아감 각도를 79.77% 억제할 수 있으며, 능동 관성 보상 기반 압전 회전 구동기의 최소 분해능은 1.12 μrad, 최대 회전 속도는 813.85 mrad/s임을 나타내었다. 이 방법은 작은 관성 로터의 효율적이고 안정적인 점착-슬립 운동 실현이 가능하며, 압전 회전 구동기의 고성능 출력을 달성하여 미세·나노 조작 등 복잡한 작업 공간에서 초정밀 분야에 큰 응용 잠재력을 가진다.

능동 관성 보상; 점착-슬립 운동; 작은 관성 로터; 되돌림 억제; 회전 구동기