비축 비구면 형상은 비대칭이며 표면 곡률 변화가 비선형적이어서 고정밀 형상 측정에 도전 과제를 제시합니다. 기존 비축 비구면 형상 측정 방법이 측정 대상의 초기 자세 조정에 크게 의존하고 곡률 변화에 적응하기 어려운 문제를 해결하기 위해 본 논문에서는 공간 제약 기반 차동 공초점 비축 비구면 적응 측정 방법을 제안하여 초기 자세 의존성 없이 곡률 변화에 적응하고 고정밀 측정을 실현합니다. 먼저, 평이동-회전 스캔 측정 원리와 차동 공초점 기술의 표면 경사각에 강한 정밀 초점 성능에 기반하여 계획 측정점과 측정점 간 거리 및 경사각 두 차원에서 공간 제약 모델을 구축하였고, 이를 바탕으로 등면적 기준 하의 나선형 스캔 경로 계획 알고리즘을 최적화하여 비축 비구면 측정 경로의 곡률 적응 동적 조정을 실현하였습니다. 이 방법을 사용하여 비축 비구면과 20° 기울기 평면에 대한 측정 실험을 수행하였고, 측정 결과를 Zygo 간섭계 결과와 점 대 점 비교하였으며, 면 형상 차이의 평균 제곱근(RMS) 값이 모두 10nm 이내, 대응하는 3σ 값은 5nm 이내로 비축 비구면의 고정밀 측정 요구 사항을 충족하였습니다.

공간 제약;차동 공초점;비축 비구면;적응 측정;경로 계획