자기 복합 유체 연마 성능 안정성과 사용 수명 연구

WANG Youliang ,  

YU Puyao ,  

GAO Xichun ,  

ZHANG Wenjuan ,  

WU Yongbo ,  

摘要

자기 복합 유체(Magnetic Compound Fluid, MCF) 연마는 효율적인 정밀 연마 기술이지만, MCF 연마액은 장시간 사용 시 성능 저하 문제가 있습니다. 본 논문은 MCF 연마액의 성분이 연마 성능에 미치는 영향을 연구하고, 보충 용액을 추가하여 연마 성능을 회복시켜 MCF 연마액의 사용 수명을 연장하는 가능성을 탐구하였습니다. 먼저 MCF 연마 기술을 이용하여 폴리메틸메타크릴레이트를 연마하는 실험을 수행하였습니다. 연마 전후 MCF의 형태 변화를 관찰하고, 표면 거칠기, 재료 제거율, 온도 및 수직력을 측정하여 다양한 연마 시간에 따른 연마액의 성능을 분석하였습니다. 둘째로, 10분마다 연마 입자 용액 또는 α-셀룰로오스 용액을 추가하여 MCF 연마 성능 회복 효과와 MCF 연마액 수명 연장 가능성을 탐구하였습니다. 마지막으로, 보충 용액 상태에서 장시간 MCF 연마 실험을 수행하여 MCF 연마액의 사용 수명을 연구하였습니다. 실험 결과, 60분 연속 연마 후 연마액 형태가 초기 균일 자기 클러스터에서 조각 형태 군집으로 변화하였고, 표면 거칠기 감소율은 97.06%에서 65.97%로 감소하여 연마 성능이 크게 저하됨을 나타내었습니다. 연마 입자 용액과 α-셀룰로오스 용액을 추가함으로써 수직력이 각각 6.4 N과 7.3 N으로 안정화되었고, 표면 거칠기 감소율은 85% 이상을 유지하였습니다. 추가 연구에서는 10분마다 0.1 mL의 보충 용액을 추가할 경우 MCF 연마액 사용 수명이 60분에서 180분으로 연장되고, 표면 거칠기 Ra < 0.05 μm 및 재료 제거율이 1.80 × 10⁸ μm³/min 이상을 유지함을 확인하였습니다. MCF 연마액은 연마 과정에서 수분, 연마입자 및 α-셀룰로오스가 손실되어 연마 성능 저하를 초래합니다. 핵심 성분을 정량적으로 보충함으로써 MCF 연마액의 연마 성능을 효과적으로 유지하고 연마 안정성을 개선하며 사용 수명을 크게 연장할 수 있습니다.

关键词

자기 복합 유체;연마;표면 거칠기;재료 제거율;사용 수명

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