평면 격자 각인기의 인쇄 과정에서 압전 세라믹 구동기의 히스테리시스 비선형 특성으로 인해 마이크로 위치 결정 정확도가 저하되는 문제를 해결하기 위해 구간별 Prandtl-Ishlinskii(PI) 모델에 기반한 복합 제어 오차 보상 방법을 제안하여 격자 각인의 분할 위치 결정 정확도와 안정성을 향상시켰다. 격자 분할 마이크로 위치 오차 모니터링 및 보정 시스템을 설계하였으며, 구간별 PI 모델을 구축하여 비선형 동작을 설명하고 최소자승법을 사용하여 압전 세라믹 구동기의 히스테리시스 특성을 식별하였으며, 역 모델을 피드포워드 보상 요소로 활용하고 폐루프 피드백 제어와 결합하여 복합 제어 전략을 형성하여 동적 오차 보정을 실현하였다. 실험 데이터는 PI 역 모델 피드포워드 보상 미적용 대비 격자 각선 위치 오차가 ±20 nm에서 ±10 nm 이내로 감소하였음을 나타낸다. 홈 일관성을 보장하며 격자 각인 분할 위치 오차 보정에 적용되어 고밀도 격자의 제작에 신뢰할 수 있는 기술적 지원을 제공한다. 향후 연구는 위치 결정 정확도를 더욱 향상시키기 위한 지능형 알고리즘 융합 및 최적화에 중점을 두고 곡면 격자 및 변격자 간격 각인에 이 기술의 확장 응용을 탐색할 것이다.

격자 각인기; 마이크로 위치 결정 시스템; 위치 결정 정확도; P-I 모델; 압전