평면 그리드 마킹기의 마킹 과정 중 압전 세라믹 구동기의 히스테리시스 비선형 특성으로 인한 미세 위치 결정 정확도 저하 문제를 해결하기 위해 분할 Prandtl-Ishlinskii(PI) 모델 기반의 복합 제어 오차 보상 방법을 제안하여 그리드 마킹의 눈금 위치 결정 정확도와 안정성을 향상시켰다. 눈금 미세 위치 결정 오차 모니터링 및 보정 시스템을 설계하였으며, 분할 PI 모델을 구축하여 비선형 거동을 설명하고 최소제곱법을 이용해 압전 세라믹 구동기의 히스테리시스 특성을 식별했으며, 역모델을 피드포워드 보상 단계로 사용하고 폐루프 피드백 제어와 결합하여 복합 제어 전략을 형성하여 동적 오차 보정을 구현했다. 실험 데이터는 PI 역모델 피드포워드 보상 없이 대비하여 그리드의 마킹 위치 오류가 ±20 nm에서 ±10 nm 이하로 감소했음을 보여준다. 홈의 일관성을 보장하고, 그리드 마킹 눈금 위치 결정 오차 보정에 적합하며, 고밀도 그리드 제작에 신뢰할 수 있는 기술적 지원을 제공한다. 향후 연구는 위치 결정 정확도 향상을 위한 스마트 알고리즘 통합 최적화와 곡면 그리드 및 가변 피치 마킹에서의 기술 확장 적용에 중점을 둘 예정이다.

그리드 마킹기; 미세 위치 결정 시스템; 위치 결정 정확도; P-I 모델; 압전