위상 조절 양방향 전단 스펙클 간섭 표면 변형 측정

QI Siyuan ,  

FANG Weidong ,  

LIU Yilong ,  

CHANG Qing ,  

GAO Shuai ,  

WANG Shengjia ,  

摘要

단방향 전단 스펙클 간섭의 방향 민감도 문제에 대해, 위상 조절 기반의 양방향 전단 스펙클 간섭 기술을 제안한다. 이 기술은 전단 간섭에서의 영상화, 전단 및 위상 이동 연산을 시스템이 객체광에 가하는 위상 변환으로 본다. 두 개의 공면 결합된 프레넬 회절 렌즈를 이용해 상면에 횡방향으로 위치가 어긋난 두 이미지를 생성하여 전단 간섭을 형성한다. 액정 공간 광 변조기(LC-SLM)에 서로 다른 위상 기준선을 가진 쌍렌즈 위상 마스크를 동적으로 부하하여 위상 이동 전단 간섭 영상을 생성하고, 시간 위상 이동법을 사용해 위상을 추출한다. 실험 결과 위상 조절 양방향 전단 스펙클 간섭 시스템은 전단의 방향과 크기를 자유롭게 조절할 수 있으며, 제어 가능한 시간 위상 이동을 도입한다; 단방향 전단 위상 복원 시 비전단 방향의 오차 수준은 전단 방향의 3.5~4.6배에 달하지만, 양방향 전단 위상 복원 시 모든 전단 방향에서 오차 수준이 낮고 일관성이 높아 두 방향 오차 편차는 8%이다. 위상 조절 양방향 전단 스펙클 간섭 기술은 구조가 간단하고 통합도가 높으며, 단일 파장, 단일 편광, 단일 카메라, 단일 개구를 사용하는 고정밀 변형 측정용 광학 간섭법 솔루션을 제공한다.

关键词

간섭 측정; 전단 간섭; 위상 조절; 시간 위상 이동; 표면 변형 측정

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