단방향 컷팅 스퀘어 인터페로미터의 방향 민감성 문제에 대한 해결책으로 위상 제어 기반의 양방향 컷팅 스퀘어 인터페로미터 기술을 제시합니다. 이 기술은 인터페로메트리에서의 이미징, 컷팅 및 위상 이동 조작을 광학 시스템의 위상 변환 작용으로 간주합니다. 공면에 결합된 두 프레넬 회절 렌즈를 사용하여 이미지 평면에서 횡방향으로 이격된 두 개의 이미지를 생성하여 컷팅 인터페로메트리를 형성합니다. 액정 공간 빛 가변기(LC-SLM)에 상이한 위상 베이스라인을 가진 이중 렌즈 위상 매스크를 동적으로 로딩하여 위상 이동 컷팅 인터페로메트리 이미지를 생성하고 시간 위상변화 방법을 사용하여 위상 해결을 합니다. 실험 결과는 위상 제어 양방향 컷팅 스퀘어 인터페로미터 시스템이 컷팅의 방향과 크기를 자유롭게 조정하고 제어 가능한 시간 위상을 도입할 수 있다는 것을 보여줍니다. 단방향 컷팅 위상 재구성 변형의 경우, 컷팅하지 않은 방향의 오차 수준은 컷팅 방향의 3.5~4.6배이지만, 양방향 컷팅 위상 재구성 변형의 경우 각 컷팅 방향에서 낮은 오차 수준과 높은 일관성을 지니며, 두 방향에서의 오차 편차는 8%입니다. 위상 제어 양방향 컷팅 스퀘어 인터페로미터 기술은 구조가 간단하고 통합도가 높은 특성을 가지며, 고정밀 변형 측정을 위한 단일 파장, 단일 편광, 단일 카메라, 단일 경광구 적광법 해결책을 제공합니다.

인터페로메트릭 측정; 컷팅 인터페로메트리; 위상 제어; 시간 위상 변화; 표면 변형 측정