형체 개영성도 속도에 타미하는 디지털 삼색 회절간섭측정법은 물체의 상호발광 광자에서의 간섭을 억제하고 상대운동을 미측할 수 있는 특성을 가졌음에도 불구하고 물체의 고온에서의 자발광 광자로부터의 간섭을 받아 고온에서는 변위의 기울기만을 측정할 수 있고 직접적으로 3차원 변형정보를 구할 수 없다. 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 고온에서의 3차원 변형측정을 위한 디지털 삼색 회절간섭측정법이 제시된다. 디자인된 삼색 다이아프랙션 필터 구조를 이용하여 고온에서의 물체의 자발광 광자의 간섭을 억제하고 안정적인 3개의 독립 좁은 대역통과를 필터링한다. 복합 사다리꼴 적분 방법을 이용하여 변위장을 재구축하고 물체의 3차원 변형정보를 얻게 된다. 결과는 이러한 방법의 최소 검출변위가 30 nm이고 이로써 고온에서 물체의 3차원 변형정보를 효과적으로 구할 수 있고 고온의 자발광 광자를 억제하여 3차원 변형측정을 실현할 수 있음을 보여준다.

digital shearography;deformation measurement;thermal radiation interference;composite trapezoidal integration