摘要
삼색 디지털 쉬어 스펙클 간섭은 간섭에 강하고 강체 변위에 민감하지 않지만, 고온에서는 자발 방사광의 간섭을 받으며 변위 기울기만 측정할 수 있고 3차원 변형 정보를 직접 얻을 수 없습니다. 이 문제를 해결하기 위해 삼색 3공 디지털 쉬어 스펙클 간섭 측정 방법을 제안하여 고온 환경에서 3차원 변형 측정을 실현합니다. 설계된 삼색 3공 조리개 구조를 이용해 세 개의 독립적인 좁은 대역 필터링을 수행하여 고온 환경에서 물체의 자발 방사광 간섭을 억제합니다. 복합 사다리꼴 적분 방법을 이용하여 변위장을 재구성하고 측정 대상 물체의 3차원 변형 정보를 얻습니다. 결과는 이 방법의 최소 검출 변위가 30nm임을 보여주며, 물체의 고온 3차원 변형 정보를 효과적으로 얻을 수 있고 고온 자발 방사광을 억제하여 3차원 변형 측정을 실현할 수 있음을 입증합니다.
关键词
디지털 쉬어 스펙클 간섭; 변형 측정; 열 방사 간섭; 복합 사다리꼴 적분
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