미세 광전 소자는 일부 고성능 센서 장치의 핵심 부품으로, 조립 정밀도가 센서 성능에 크게 영향을 미칩니다. 현재 조립 시스템의 복잡한 구조, 높은 비용, 확장성 부족 등의 단점을 극복하기 위해, 본 논문에서는 미세 광전 소자의 정밀 조립 방법을 연구하였으며 주요 작업 내용은 다음과 같습니다: 로봇 암 지원 정밀 조립 시스템을 개발하고 소형 병렬 흡착 장치를 개발하였으며; '상태 동결'과 '마커 포인트 휴리스틱'을 결합한 시각 검사 방법을 구축하여 필요에 따라 세계 좌표계와 시각 좌표계 간 관계를 추론하여 작업 효율과 정밀도를 모두 고려하였습니다; 상기 장치와 방법을 활용하여 전형적인 광전 소자의 정밀 조립 응용 실험을 진행하였으며, 실험 결과 본 논문에서 제안하는 로봇 암 지원 조립 방법을 적용하면 시스템 조립 정밀도를 10μm 수준으로 향상시킬 수 있으며, 로봇 암 자체의 반복 위치 정확도 한계를 극복하여 효율과 정밀도를 모두 충족시키고 장비의 복잡성과 비용을 크게 줄일 수 있어 다양한 정밀 작업에 널리 적용될 수 있음을 보여주었습니다.

정밀 조립;로봇 암;시각 측정;미세 클램프