자기장 센서의 이중 채널 구조의 큰 부피 및 동일 주파수 자극으로 인한 채널 간 간섭 문제를 해결하고 신호 대 잡음 비와 측정 정밀도를 향상시키기 위해 다중 주파수 자기장 결합을 한 절대 격자 각 이동 센서 설계 방안을 제시하여 산업 응용에서의 공간 제약 측정 요구를 충족시키기 위해 제안되었습니다. 먼저 평면 코일의 순간적인 자기장 결합 이론 모델을 수립하여 다른 모양의 자극 코일의 자기장 분포 특성을 분석하고 증가 측정 원리에 기초한 절대 단일 채널 각 이동 센서 모델을 구축했습니다; 상호 소수의 절대 격자 위치 해결 방안을 구축하고 500 kHz(거친 기계) 및 1 MHz(정밀 기계)의 동기 자극 방안을 사용하여 고주파에서 저주파로 원리를 이용하여 고주파 자극 신호하에서 센서의 고 신호 대 잡음 비와 고 해상도 사이에 발생하는 모순 문제를 해결하였습니다. 자기장 시뮬레이션 및 오차 분석을 통해 센서의 최적 결합 간격을 1.0mm로 결정하였으며; 마지막으로 외경 84mm의 센서 샘플 기를 제작하고 성능 테스트를 완료하였습니다. 실험 결과는 센서가 소형화와 동시에 자유롭고 정밀한 코드 간의 자기장 간섭 문제를 효과적으로 억제함을 보여주었습니다. 전체 측정 범위에서 최대 측정 오차는 ±78″입니다.

절대 변위 측정; 다중 주파수 자기장 결합; 신호 대 잡음 비; 변위 센서