고속, 고정밀 이중 굴절 미세 측정을 구현하기 위해 탄광 광변조 기반의 이중 굴절 미세 영상화 방안을 제안하였다. 고주파 변조, 높은 변조 순도 등 편광 변조의 장점을 이용하여 이중 굴절 미세 영상을 구현하였다. 이후 프리킹 조명법을 적용하여 탄광 변조기의 "고주파 변조"와 카메라 "저속 프레임 속도" 간의 모순을 해결하였다. 0°, 30°, 90° 세 가지 탄광 변조 위상에서의 이미지 취득 실험을 수행하여 시료의 이중 굴절 위상 지연량 분포를 계산하였다. 마지막으로 실험 시스템을 구축하고 파장판 및 보리수 줄기 절편 시료에 대해 측정 실험을 진행하였다. 실험 결과, 파장판 지연량 측정 오차는 1% 이내이며, 지연량 정밀도는 ±λ/300을 만족하며, 지연량 분포의 최대 편차는 1.62 nm를 넘지 않았다. 보리수 줄기 절편의 다른 지연량 분포 영역이 서로 다른 부위의 영역 인식을 가능하게 하였으며, 단일 측정 시간은 3 ms 미만이었다. 이 방법은 고속, 고정밀 이중 굴절 분포 측정을 실현했으며, 이중 굴절 위상 지연 분포 측정 능력을 가지고 있어 2차원 신소재, 생물 조직 영상화 등의 연구에 있어 첨단 기술 수단을 제공할 수 있다.

미세 영상화;탄광 변조;프리킹 조명;위상 지연량;이중 굴절