단일 전기 변형 거울의 작동 중 거울 표면에서 발생하는 진동을 억제하고 진동을 줄이기 위한 단일 전기 변형 거울의 진동 억제 방법은 입력 신호 형성을 기반으로 제안되었다. 단일 전기 변형 거울의 구조를 분석하고 단일 전기 변형 거울의 동역학 모델을 구축하여 입력 신호 조건기의 단일 전기 변형 거울의 계단 응답 곡선에 대한 영향을 확인하기 위해 소프트웨어 시뮬레이션 분석을 사용하고 검증을 위해 실험 플랫폼을 구축한다. 마지막으로 변형 거울의 표면 형상 재구성을 시뮬레이션하여 변형 거울의 실제 제어에서 진동 억제 효과를 분석했다. 실험 결과는 제어 주파수가 5 kHz에서 입력 신호 조건기를 사용하면 단일 전기 변형 거울의 오버 슈팅은 32.1% 에서 거의 0으로 감소하고 조정 시간은 4.30 ms에서 0.57 ms로 줄었다는 것을 보여주었다. 또한 거울 재구성 과정에서 오버 슈팅이 34% 에서 1% 미만으로 감소하였고 조정 시간이 3.95 ms에서 0.58 ms로 줄어들어 거울의 제어 속도와 정밀도를 높였다. 설계된 입력 신호 조건기는 단일 전기 변형 거울의 진동을 효과적으로 억제할 수 있다.

단일 전기 변형 거울; 입력 신호 형성; 진동 억제; 적응 광학 시스템