작동 중 단일 압전 변형 거울 표면에 발생하는 진동을 억제하기 위해 입력 성형 기반의 단일 압전 변형 거울 진동 억제 방법을 제안하였다. 단일 압전 변형 거울의 구조를 분석하여 동역학 모델을 구축하였다. 소프트웨어 시뮬레이션을 통해 입력 성형기가 단일 압전 변형 거울 계단 응답 곡선의 변위 오버슈트 및 조정 시간에 미치는 영향을 분석하였으며, 실험 플랫폼을 구축하여 검증하였다. 마지막으로 변형 거울의 재구성된 디포커스 면 형상을 시뮬레이션하여 변형 기술이 실제 변형 거울 제어에서 진동 억제에 미치는 영향을 분석하였다. 실험 결과, 5kHz 제어 주파수에서 입력 성형기 적용 후 단일 압전 변형 거울의 변위 오버슈트는 32.1%에서 거의 0으로 감소하였고, 조정 시간은 4.30ms에서 0.57ms로 단축되었다. 또한 변형 거울 재구성 시뮬레이션 과정에서 오버슈트는 34%에서 1% 이하로 감소하였고, 조정 시간은 3.95ms에서 0.58ms로 단축되어 변형 거울의 제어 속도와 정밀도가 향상되었다. 설계된 입력 성형기는 단일 압전 변형 거울의 진동을 효과적으로 억제할 수 있다.

단일 압전 변형 거울; 입력 성형; 진동 억제; 적응 광학 시스템