摘要
복잡한 곡면에 대한 고정밀 측정을 실현하기 위해 위상 측정 편향술 기반의 줄무늬 반사법 측정 시스템을 구축하였으며, 카메라, 디스플레이 및 측정 대상체로 구성된 측정 시스템의 구조 설계, 시스템 보정 및 검출 알고리즘 등을 연구하였다. 측정 대상체의 크기 및 면형 특성에 따라 고품질 디스플레이와 카메라를 선정하고 각각 보정하였다. 고정밀 관절 암 측정기를 이용하여 세 요소 간의 공간 위치 관계를 결정하고 컴퓨터 보조 최적화 및 CODEV 시뮬레이션 분석법을 결합하여 시스템을 보정하였다. 마지막으로 적분 재구성 알고리즘을 이용하여 복잡한 곡면의 고정밀 검출을 실현하였다. 실험 결과 본 측정 시스템은 LUPHOScan 및 ZYGO&CGH와 동등한 측정 정밀도를 얻었으며, 전면 RMS의 측정 정밀도는 λ/50보다 우수하였다. 본 측정 시스템은 구조가 간단하고 동적 범위가 넓으며 간섭 저항성이 강하여 복잡한 곡면 측정 효율과 정밀도를 향상시켰다. 측정 정밀도 요구사항을 충족하며 해당 부품의 가공 및 조립을 보장하여 장비 성능을 효과적으로 향상시킨다.
关键词
광학 측정;복잡 곡면;줄무늬 반사;위상 측정 편향술;적분 재구성
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