압전 위치 결정대의 고정밀 추적 제어를 실현하기 위해, 히스테리시스, 모델 불확실성 및 부하 교란과 같은 비선형 요인이 압전 위치 결정대의 운동 정밀도에 미치는 영향을 고려하여, 시스템의 고정밀 추적 제어 성능을 달성하기 위한 분수 차수 종단 슬라이딩 모드 자항란 제어기를 설계하였다. 먼저, 분수 차수 이론, 종단 슬라이딩 모드 이론 및 자항란 이론을 결합하여 시스템 상태 추적 오차가 유한 시간 내에 수렴하도록 하였다. 그 다음, 개선된 fal 비선형 함수를 기반으로 연속 미분 가능한 새로운 접근 법칙을 설계하여 진동을 더욱 줄였다. 마지막으로, 압전 위치 결정대에서 궤적 추적 비교 실험을 수행하였으며, 실험 결과 10 μm 진폭의 사인 기대 궤적 및 200 g 부하에서 설계된 제어기의 제곱평균근 오차는 0.0246 μm로, PID, 정수 차수 종단 슬라이딩 모드 및 신경망 정수 차수 종단 슬라이딩 모드 세 가지 제어 방법과 비교하여 각각 76.66%, 48.00%, 43.32%의 RMS 오차 정밀도 향상을 보였다. 40 Hz 참조 명령 신호에서 분수 차수 종단 슬라이딩 모드 자항란 제어기는 압전 위치 결정대의 RMS 오차를 0.1869 μm로 감소시켰으며, 다양한 부하 조건에서도 우수한 추적 성능을 보였고 진동 현상을 억제하였으며 모델 불확실성과 부하 교란에 대해 강한 견고성을 가졌다.

압전 위치 결정대;분수 차수;슬라이딩 모드 제어;Fal 함수;확장 상태 관측기