마이크로 조작 및 마이크로 조립 분야에서 다자유도, 대행정 및 고정밀 운동 요구에 대응하기 위해 압전 점착 미끄럼 구동 방식의 2자유도 다중 스케일 병렬 분리 운동 플랫폼을 제안한다. 압전 섬유 구동 유연 기구를 채택하고 구동-구조 일체형 아치형 구동 유닛을 설계하여 나노 수준의 운동 해상도를 달성하고 단일 보폭 출력을 향상시키며 2차원 평면 운동을 분리한다. 이후 점착 미끄럼 구동 원리를 이용해 대행정 운동을 실현하고 만능 베어링과 조절 가능한 지지 기둥을 사용해 하중 능력을 향상시킨다. 그 다음 유한 요소법을 통해 플랫폼 이론 모델을 구축하고 출력 변위 및 고유 진동수에 대한 시뮬레이션 분석을 수행한다. 마지막으로 실험 플랫폼을 구축하여 관련 성능을 테스트한다. 실험 결과 연속 스텝 운동 시, 압전 점착 미끄럼 운동 플랫폼의 x 및 y 방향 평행 이동 최대 단일 스텝 변위는 각각 249.6 μm와 237.3 μm이며, 운동 범위는 16.10 mm×16.08 mm이다; 수직 하중이 30 N인 경우에도 점착 미끄럼 운동 플랫폼은 여전히 16.0 μm의 단일 스텝 출력을 갖는다. 또한 단일 스텝 정밀 운동 시 변위 해상도는 각각 6.3 nm와 6.8 nm이다. 따라서 설계된 압전 점착 미끄럼 운동 플랫폼은 다차원 다중 스케일 마이크로 나노 운동 요구를 충족할 수 있다.

압전 구동;점착 미끄럼 운동;유연 메커니즘;2자유도