단거리 및 중거리 마이크로 나노 정밀 위치 결정 플랫폼의 높은 힘 밀도와 고정밀 제어라는 종합 요구를 충족하기 위해 자기저항 구동기를 기반으로 한 유연한 정밀 위치 결정 플랫폼을 설계 및 분석하였고, 비선형 자성 히스테리시스 모델링 및 궤적 추적 제어를 수행하였다. 먼저, 자기저항 구동기의 등가 자계 회로와 다양한 공극에서의 구동력 특성을 분석하고 유연 기구 강성 모델과 결합하여 플랫폼 설계 매개변수 및 플랫폼 작업에 적합한 공극 크기를 결정하였다. 둘째, 실험 플랫폼 시스템을 구축하고 유리 함수와 Prandtl-Ishlinskii 역 히스테리시스 모델을 포함하는 전진 보상 전략을 구축하여 자기저항 구동기의 비선형 보상을 실현하였다. 마지막으로 비례-적분 제어기와 노치 필터를 이용한 피드백 제어 방법을 구성하여 궤적 추적 제어 실험을 수행하였다. 실험 결과, 구축된 역 히스테리시스 모델 보상 및 제어 방법이 플랫폼 제어 정밀도를 크게 향상시킬 수 있음을 보여주었으며, 비선형 보상 후 두 삼각파 신호의 추적 평균 제곱근 오차가 각각 69.2%와 63.68% 감소하여 본 논문에서 설계한 자기저항 구동 유연 정밀 위치 결정 플랫폼의 마이크로 나노 위치 결정 가능성과 유효성을 검증하였다.

자기저항 구동기;유연 기구;히스테리시스;정밀 위치 결정 플랫폼;궤적 추적 제어