정밀 회전 축계를 포함하는 정밀 측정 기기 또는 고급 제조 장비에서 축계 오류 변화가 미치는 영향 규칙을 연구하기 위해 원형 그리드 설치 편심 자기 보정 원리, 자기 광축 원리 및 레이저 삼각 측량 원리를 기반으로 여러 원리 융합에 기반한 정밀 회전 축계 6자유도 오차 동기 측정 방법을 제안하였다. 먼저 원형 그리드 설치 편심 자기 보정 원리를 통해 정밀 회전 축계의 각도 위치 오차와 반경 오차 분리 모델을 추가로 구축하였다. 다음으로 자기 광축 원리와 레이저 삼각 측량 원리를 결합한 정밀 회전 축계 축 방향 및 경사 오차 측정 모듈을 설계하고 보정하였다. 마지막으로 DD 모터를 실험 대상으로 검증을 수행하였다. 실험 결과 DD 모터의 각도 위치 오차는 ±3.5″ 이내, 반경 오차는 ±0.5 μm 이내, X축 경사 오차는 ±6″ 이내, Y축 경사 오차는 ±8.3″ 이내, 축 방향 오차는 ±6 μm 이내임을 보여주었다. 이 방법은 기존 정밀 회전 축계 오차 측정 방법과 비교하여 광전자 자기 광축계, 상용 스핀들 오차 측정 시스템 등의 기기를 필요로 하지 않고, 정밀 회전 축계 6자유도 오차 동기 측정을 실현할 수 있으며, 비용이 저렴하고 현장 측정이 가능한 장점이 있어 정밀 회전 축계 오차 장기 모니터링에 사용할 수 있다.

레이저 삼각 측량 원리;자기 광축 원리;6자유도 오차 측정;정밀 회전 축계;원형 그리드 설치 편심 자기 보정