미세나노 좌표측정기의 원형도 측정 신뢰성을 검증하고 주요 불확실성 원인을 정확히 식별하기 위해 측정 불확실도 및 각 오차 성분이 평가 결과에 미치는 영향을 정량적으로 분석하는 종합 평가 방법을 구축하였다. 우선, 국가 표준 GB/T 7235-2004에 정의된 최소제곱법, 최대내접원법, 최소외접원법, 최소영역법 등 4가지 원심 계산 방법을 바탕으로 GUM-MCM 원형도 측정 불확실도 평가 방법을 제안하였다. 둘째, 랜덤 포레스트 회귀 모델을 도입하여 각 불확실성 오차원(반복성, 온도 변화, 상호간섭력, 측정구 마모)에 대응하는 오차량과 원형도 오차 간의 회귀 모델을 구축하였으며, 랜덤 포레스트의 아웃 오브 백 오차 증분, 특성 제거 오차 증분, 안정성 가중치 세 가지 지표를 통해 각 오차원이 원형도 오차에 미치는 영향을 체계적으로 분석하였다. 최종 실험 결과 4가지 방법으로 얻은 원형도 최적 추정값은 각각 0.629, 0.221, 0.616 및 0.608 μm이며, 표준 불확실도는 각각 0.099, 0.138, 0.103 및 0.094 μm로 나타났다. 그중 최소영역법의 불확실도가 가장 낮았다. 랜덤 포레스트 분석 결과 측정구 마모로 인한 오차 성분이 최소제곱법, 최소외접원법, 최소영역법 3가지 방법에서 가장 큰 영향을 미쳤으며 총 점수는 각각 0.74, 4.50 및 0.53이었다. 본 연구는 GUM-MCM 방법과 랜덤 포레스트 회귀 모델의 융합을 통해 미세나노 좌표측정기 원형도 측정 신뢰성을 효과적으로 검증함과 동시에 각 불확실성 원인의 기여도를 정량적으로 분석하였으며, 본 연구 결과는 초정밀 가공 측정의 정확성과 신뢰성 향상에 중요한 공학적 가치를 가진다.

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