전통적인 레이저 공초점 현미경의 비용이 높고, 전통적인 머신 비전 방법은 구멍 바닥의 불균일한 조명, 흐릿한 영상 및 특징 추출의 어려움 등으로 제한되어 있으며, 동축 광원 조명을 기반으로 한 머신 비전 자동 측정 시스템이 개발되었습니다. 본 시스템은 산업용 카메라, 동축 광원이 장착된 원심렌즈, 3축 정밀 이동대 등으로 구성되며, 혼합 초점 및 특징 인식 알고리즘을 핵심 측정 전략으로 사용합니다. 실험 결과 시스템은 안정적이고 신뢰성 있게 작동하며 우수한 성능을 나타내었으며, 깊이 대 직경 비율이 서로 다른 7종의 샘플(3.17~7.87)에 대해 측정했으며, 구멍 직경 측정 반복성은 0.56~4.58 μm, 깊이 측정 반복성은 최소 0.80 μm, 변이 계수는 0.09 %로 가장 낮았습니다. 측정 평균과 공칭 값의 편차는 대체로 1 % 미만이었습니다. 본 시스템은 깊이 대 직경 비율이 큰 미세공의 기하학적 매개변수를 효율적이고 고정밀로 측정할 수 있어 정밀 제조에서 미세구조 품질 관리를 위한 저비용 기술 솔루션을 제공합니다.

미세공 측정; 심비; 자동 초점; Tenengrad 그라디언트 함수; 오츠 방법