고차 비구면 고정밀 간섭 검사는 초정밀 광학 가공의 핵심 단계입니다. 전통적인 수동 간섭 검사는 전문가 경험에 의존하며 효율이 낮고 대량 검사의 요구를 충족하기 어렵습니다. 강체 운동학과 Fringe Zernike 오차 이론을 기반으로 회전 대칭 면의 5자유도 감도 함수의 엄밀한 표현식을 유도하였으며, 고차 비구면에 대해서는 수치 적분을 통해 Zernike 투영 적분을 수행하여 기존 해석법의 저차 근사 절단을 회피하였습니다. 면형 곡률 파라미터만으로 모델링을 완료할 수 있으며 경험적 보정이나 완전 광학 시스템 모델링이 필요 없습니다; 전통적 최소자승법이 면형 오차와 시차 수차의 결합 문제를 해결하지 못하는 문제에 대응하여 가중 최소자승 역산 전략을 제안하였으며 주요 모드에 대한 가중치 계수를 동적으로 조정함으로써 면형 오차가 위치 역산에 미치는 결합 오염을 효과적으로 억제하여 검출 정밀도를 향상시켰습니다. 실험 결과 알려진 시차 검증에서 5자유도 보정 오차가 3.5%를 초과하지 않았고, 알려지지 않은 시차 검증에서는 기존 방법이 정상적으로 수렴하지 못했으며, 광로 시차로 인한 RMS 오차는 0.113λ였으나 가중 최소자승법이 2회 반복 후 수렴하여 광로 시차로 인한 RMS 오차가 0.004λ(λ=632.8 nm)로 감소했습니다. 본 방법은 고차 비구면 대량 간섭 검사를 위한 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.

비구면 검사;감도 행렬;가중 최소자승;자동 정렬