고정밀 조준은 각도 측정의 기준이며, 측정 정확도를 결정하며 정밀 측정 분야에서 중요한 역할을 합니다. 조준 과정에서 광점 왜곡으로 인해 최대 광강도 지점과 에너지 중심이 분리되어 조준 정확도에 영향을 미치는 문제를 해결하기 위해 고정밀 차동 정렬 동적 각도 측정 조준 오차 억제 기술이 제안되었습니다. 검출기 앞에 이중 슬릿 조리개를 추가하여 광점을 성형 및 필터링하고 이중 광강도 신호를 획득한 후 두 신호를 차분 연산하여 오차 분리 및 신호 보상을 구현합니다. 차동 정렬 광강도 응답 곡선의 영점에 대한 높은 민감도를 기반으로 정밀한 광점 위치를 얻어 광점 왜곡이 조준 정확도에 미치는 영향을 제거합니다. 이론 분석 및 초기 실험 결과는 이 기술이 광점 왜곡으로 인한 조준 오차를 효과적으로 억제할 수 있음을 보여주며, 조준 반복성은 0.03″에 달하고 각도 측정 정확도는 0.1″에 도달합니다. 기존의 중심 위치 측정 기술과 비교할 때, 이 기술은 조준 반복성이 우수하고 각도 측정 정확도가 높아 고정밀 동적 레이저 각도 측정 시스템에 실용적인 기술 솔루션을 제공합니다.

각도 측정;4사분면 검출기;조준 오차;차동 정렬;동적 각도 측정