웨이퍼 조립의 고정밀 정렬 요구에 대응하여, 강건한 전역 최적화 기반의 다목적 시각 정렬 방법을 제안하고 이에 상응하는 성능 평가 프레임워크를 구축하였다. 먼저 다목적 시각을 통해 다중 타겟 정보를 획득하고 비선형 최소제곱 목적함수로 정보를 융합하여 자세를 해석하였다; 다음으로 측정 정밀도 임계값을 기반으로 타겟 잔차를 정규화하고 허버 손실과 반복 가중치법을 결합하여 이상 타겟 가중치를 자동으로 낮춰 긁힘 등의 오류 영향을 억제하였다; 해석 측면에서는 아르미조 적응형 역추적 선형 탐색 기법을 LM 알고리즘에 통합하여 해석 수렴 안정성과 효율을 향상시켰다; 더 나아가 좌표 매핑 및 회전 유도 변위 보상 모델을 구축하여 오차 전달 및 운동 보상을 실현하였다; 각도-변위 협동 제약 교집합비(AD-IoU) 지표를 제안하고 이중층 웨이퍼 정렬 응용 실험을 수행하였다. 결과는 본 논문에서 제안한 강건한 전역 최적화 반복 방법을 적용하면 수렴 횟수를 약 3회로 줄일 수 있으며, 마이크로미터 수준(4 μm) 국부 타겟 편차를 도입할 때 AD-IoU 평균은 0.06%만 감소하여 본 방법의 반복 효율성과 강건성을 검증하였다.

다목적 시각;웨이퍼 정렬;정밀 조립;LM 알고리즘