적외선 포컬 플레인 공간 성능 파라미터 적응형 검출 시스템 설계

LIU Lingzhi ,  

LIU Changming ,  

ZHUANG Xingang ,  

YANG Zhongming ,  

摘要

적외선 포컬 플레인 검출기의 전체 타겟면 반응 불균일성과 화소 간 신호 간섭 문제의 테스트 요구를 충족하기 위해 적외선 포컬 플레인 공간 성능 파라미터 적응형 검출 시스템을 설계하였다. 이 시스템은 1550 nm 레이저를 광원으로 사용하며, 갈릴레이형 비구면 렌즈 군을 이용해 가우스 빔을 평평한 톱햇 빔으로 성형한 뒤 케플러형 빔 확장 시스템을 통해 해당 평평한 톱햇 빔을 확장하여 직경이 25 mm 이상이고 균일도가 96% 이상인 균질화 빔을 얻어 적외선 포컬 플레인 검출기 타겟면 반응 불균일성 테스트 요구를 충족시킨다; 고품질의 작은 광점을 생성하기 위해 적응광학 시스템으로 파면 수차를 교정하고 대물렌즈 집광 후 직경이 5 μm 이하인 작은 광점을 얻어 적외선 포컬 플레인 검출기 화소 간 신호 간섭의 정밀한 측정 요구를 만족한다. 실험 결과 균질화 빔 균일도는 96.08%, 작은 광점 직경은 4.4 μm이었다. 본 시스템은 두 가지 기능을 통합하였으며 적외선 포컬 플레인 검출기의 공간 성능 테스트를 위한 효과적인 실험 수단을 제공한다.

关键词

균질화 빔; 적외선 작은 광점; 비구면 렌즈 군; 적응 광학; 적외선 포컬 플레인 검출기

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