줄무늬 계수법 레이저 자기 혼합 간섭 변위 측정의 해상도를 향상시키기 위해, 이중 파장 단일 종 모드 얀터늄 도핑 섬유 레이저 자기 혼합 간섭 미세 변위 측정 시스템이 설계되었다. 이 시스템은 위상이 반대인 두 경로의 자기 혼합 간섭 신호를 출력할 수 있으며, 최적 임계값 방법을 사용하여 세분화하여 λ/8 해상도의 계수 가능한 특성점을 얻고, 3차 스플라인 보간법을 통해 측정 변위를 재구성한다. 이중 파장 단일 종 모드 얀터늄 도핑 섬유 레이저 자기 혼합 간섭 특성과 미세 변위 측정 오차를 연구하였다. 실험 결과, 측정 대상 미러가 주파수 3~9Hz, 진폭 2~11μm 내에서 주기적으로 진동할 때, 미세 변위 측정 오차는 96~105nm 범위 내에서 변화하였으며, 평균 측정 오차는 100.2nm, 평균 상대 오차는 1.98%였다. 이 이중 파장 단일 종 모드 얀터늄 도핑 섬유 레이저 자기 혼합 간섭 미세 변위 측정 시스템 설계 방법은 간단하고 실현 가능하며, 광범위한 응용 전망을 가지고 있다.

섬유 레이저;레이저 자기 혼합 간섭;이중 파장 단일 종 모드;줄무늬 세분화;미세 변위 측정