852 nm 파장 반도체 레이저 연구 진전

SUN Longlong ,  

TANG Jilong ,  

ZHANG Cong ,  

DAI Qian ,  

SONG Haizhi ,  

WEI Zhipeng ,  

摘要

852 nm 반도체 레이저는 세슘 원자 D₂ 선 전이와 매우 일치하여 세슘 원자시계, 양자 센싱, 냉원자 제어 및 정밀 분광 시스템의 핵심 광원입니다. 본 시스템은 양자 우물 재료 시스템, 소자 구조 설계, 핵심 성능 최적화 및 공학 응용 측면에서 852 nm 파장 반도체 레이저 연구 진전을 종합적으로 검토합니다. 재료 진화 관점에서 AlGaAs/GaAs, 무알루미늄 InGaAsP/GaAs, InAlGaAs/GaAs 등의 시스템 발전 논리를 분석하고, 캐리어 구속 능력, 공동면 신뢰성, 온도 안정성 및 전기광 변환 효율 간의 내재된 연관성을 명확히 합니다. 소자 유형별로 분포 피드백 레이저(Distributed Feedback Laser, DFB), 수직 공동 표면 방출 레이저(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL), 외부 공동 피드백 레이저, 수직 외부 공동 표면 방출 레이저(Vertical External-Cavity Surface-Emitting Laser, VECSEL) 및 고출력 측면 방출 레이저의 개발 현황을 요약하고, 선폭, 출력, 기울기 효율, 단일모드 안정성 및 시스템 통합 측면에서 성능 차이를 비교합니다. 마지막으로 국내외 상용 852 nm 반도체 레이저 제품을 분석하여 현재 국내는 주로 대리 판매, 모듈 패키징 및 완제품 통합에 집중하고 있으며, 핵심 칩 및 게인 칩은 여전히 해외 공급에 의존하고 있음을 지적합니다. 향후 852 nm 반도체 레이저는 협폭, 고출력, 고효율, 광범위 온도 안정성, 고신뢰성 및 칩 수준 통합 방향으로 발전하여 차세대 세슘 원자 시계 및 양자 정밀 측정 시스템을 지원할 것입니다.

关键词

반도체 레이저; 양자 우물 구조; 핵심 성능 지표; 세슘 원자 시계

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