이중 미러 면 물체 형상 3차원 측정을 위한 가상 기준 보정

JIN Yu ,  

NI Yubo ,  

GAO Nan ,  

MA Luyao ,  

MENG Zhaozong ,  

YANG Zeqing ,  

ZHANG Guofeng ,  

ZHAO Hongwei ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

첨단 장비 제조 및 복잡한 광학 기기에는 두 개의 미러 면이 있는 물체가 있는데, 두 작업면의 법선 사이 각도가 커서 전체 3차원 면 형상 측정이 어렵다. 위상 편향법을 사용하여 두 작업면을 각각 측정할 때, 측정 데이터가 서로 다른 좌표계에 위치하고 통일된 실체 기준이 없어서 두 면 사이의 대응 관계를 확정하기 어렵다. 이 문제는 양쪽 포인트 클라우드 좌표의 통일 및 후속 병합 정확도에 직접 영향을 미쳐, 이중 미러 면의 전체 면 형상 재구성을 제한한다. 이에 본 논문에서는 서브시스템 보정 과정에서 형성된 가상 기준면을 통해 가상 기준을 구축하고, 다자세 평면 미러 위상 재구성 결과와 턴테이블 좌표계 제약을 결합하여 두 가상 기준면 사이의 공간 변환 관계를 결정함으로써 이중 미러 면 측정 데이터의 통일을 실현하는 가상 기준 보정 방법을 제안한다. 실험 결과, 제안된 보정 방법은 이중 미러 면 포인트 클라우드 병합을 완성할 수 있으며, 오른쪽 면이 표준 평면에 대해 갖는 평균 제곱근 오차는 0.059 mm로, 이중 미러 면 물체의 전체 3차원 면 형상 재구성을 달성하였다.

关键词

위상 편향 측정법; 이중 미러 면 물체; 가상 기준 보정; 미러 면 형상

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