3차원 나노 측정 헤드는 마이크로 나노 좌표측정기의 핵심 부품입니다. 기존 3차원 나노 측정 헤드는 측정 성능이 부족하여 실제 요구를 충족하지 못하는 문제점이 있어, 정전 용량 변위 센서를 기반으로 한 3차원 나노 측정 헤드를 제안하고 실험을 통해 그 성능을 검증하였습니다. 이 측정 헤드는 주로 정전 용량 변위 센서, 극판, 탄성 구조 및 탐침 등으로 구성되어 있습니다. 3개의 고정밀 정전 용량 변위 센서가 정삼각형으로 배치되어 있으며, 구축된 기하학 계산 모델을 이용해 측정구의 변위를 계산하여 측정 헤드의 자세를 얻습니다. 실험 결과, 측정 헤드의 3차원 해상도는 3 nm 이하이고, 수평 방향 측정 범위는 260 μm, 수직 방향은 70 μm에 달하며; 수평 방향 접촉 반복성은 9.4 nm 이하, 수직 방향 반복성은 8.7 nm 이하입니다. 연구는 미세 및 나노 규모 측정에서 이 측정 헤드가 우수한 측정 성능을 갖고 있음을 검증하여 정밀 제조 및 검사에 효과적인 기술 지원을 제공합니다.

마이크로 나노 측정;좌표측정기;접촉식 탐침;정전 용량 센서