조합 검출기 초점면 평탄도 검사 문제를 해결하기 위해 공축 병렬식 이중 탐침 측정 시스템을 개발하였다. 이 시스템에 존재하는 시스템 오차에 대해 다자세 강인 분해 오차 보상 모델을 제안하여 본 측정 시스템의 고정밀 평탄도 검사 능력을 실현하였다. 먼저, 공축 병렬식 이중 탐침 측정 구조에서 오차 전달 기리를 분석하였다. 그 후, 시스템 오차를 계측기 좌표계에 고정하고, 교정 거울 형상을 거울 좌표계에 고정한 공간 불변량 차이를 이용하여 다자세 강인 분해 오차 보상 모델을 구축하였다. 이 모델은 차분 측정 결과를 시스템 오차장, 교정 거울 형상 및 자세 드리프트 항으로 분해하고, 다자세 평행 이동 및 반전 측정을 통해 시스템 오차를 교정 및 보상한다. 실험 결과, Luphoscan의 고정밀 측정 결과를 참조 진실값으로 사용하여 보상 후 원래 차분장 내의 전체 슬로프 및 주기적 줄무늬 오차가 뚜렷하게 억제되었음을 확인하였다. 정량 평가 결과, 본 방법의 잔차 PV, RMSE 및 MAE는 각각 4.400, 0.560 및 0.446 μm로 LightGBM 등 비교 방법보다 우수하였다; 또한, X방향 추세 감소율은 97.82%, Y방향 주기 감소율은 85.85%에 이르렀다. 제안된 오차 보상 모델은 공축 병렬식 이중 탐침 측정 시스템 내 고정 시스템 오차를 효과적으로 분리 및 보상할 수 있어 조합 검출기 초점면 평탄도의 고정밀 검사를 위한 효과적인 방법을 제공한다.

광학 검사; 조합 검출기; 차분 측정; 평탄도 검사; 시스템 오차 보상