유리 비구면 기둥 배열 렌즈는 낮은 수차, 높은 집광성, 우수한 균일 조광 능력 및 높은 집적도 등의 장점을 가지고 있어 고출력 레이저 및 광통신 커플링 등 분야에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다. 그러나 제조 시 금형 가공의 어려움과 금형 압축 면 형상의 조절 어려움 등의 문제가 있습니다. 본 논문에서는 기둥 배열 시뮬레이션 모델을 구축하여 금형을 최적 설계하고 면 형상 오차를 예측하여 금형 사전 보상을 실현하였습니다. 저융점 유리를 위한 금형 기재 선택, Ni-P 도금층 열처리, 단일점 다이아몬드 정삭 가공, Ti-DLC 코팅을 통한 금형 경도 및 내마모성 향상 마이크로구조 배열 금형 제조 일괄 공정 경로를 제안하였으며, 다단계 가열 및 어닐링, 금형 압축 속도 분할 제어 금형 성형 공정을 통해 금형 압축 실험을 수행하였습니다. 실험 결과 본 공정으로 가공된 비구면 기둥면 평균 표면 거칠기 S_a는 1.553 nm, 평균 형상 정밀도 PV는 0.208 µm였으며, 압축된 비구면 기둥 배열 유리 렌즈의 형상 정밀도 PV는 ≤0.3 µm, 표면 거칠기 S_a는 ≤3 nm였습니다. 금형 사전 보상 방법 및 제조 공정은 저융점 마이크로구조 배열 유리 광학 부품의 대량 생산에 참고가 될 수 있습니다.

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