Para analisar o efeito do balanço angular e da velocidade de rotação nas características estáticas da mesa giratória de levitação pneumática em uma máquina de polimento ultraprecisa de diâmetro total, foi estabelecido um método numérico de cálculo. A equação da espessura do filme de ar, considerando o balanço angular, foi inserida na equação de Reynolds, e a equação resultante inclui termos de balanço angular e velocidade de rotação. O método das diferenças finitas foi utilizado para a discretização e a solução numérica foi realizada através da equação combinada de equilíbrio de fluxo. Os resultados mostram: sob balanço angular único, o ângulo limite máximo de balanço da mesa giratória de levitação pneumática é <inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mn mathvariant="normal">5</mn><mo>×</mo><msup><mrow><mn mathvariant="normal">10</mn></mrow><mrow><mo>-</mo><mn mathvariant="normal">5</mn></mrow></msup><mtext> </mtext><mi mathvariant="normal">r</mi><mi mathvariant="normal">a</mi><mi mathvariant="normal">d</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/534A109D-C625-4ca9-BE8E-D8B85022F8C3-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/534A109D-C625-4ca9-BE8E-D8B85022F8C3-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>. Com o aumento do balanço angular, o valor máximo da espessura do filme de ar aumenta gradativamente, enquanto o valor mínimo diminui gradativamente, a distribuição de pressão muda e a capacidade de suporte diminui gradativamente. Sob balanço angular combinado, o ângulo limite máximo de balanço da mesa giratória de levitação pneumática é <inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M2"><mn mathvariant="normal">4.9</mn><mo>×</mo><msup><mrow><mn mathvariant="normal">10</mn></mrow><mrow><mo>-</mo><mn mathvariant="normal">5</mn></mrow></msup><mtext> </mtext><mi mathvariant="normal">r</mi><mi mathvariant="normal">a</mi><mi mathvariant="normal">d</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/534A109D-C625-4ca9-BE8E-D8B85022F8C3-M002.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/534A109D-C625-4ca9-BE8E-D8B85022F8C3-M002c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>. A lei de influência do balanço angular combinado sobre as características estáticas da mesa giratória de levitação pneumática é basicamente a mesma que no balanço angular único, mas o efeito é mais significativo. A velocidade de falha da mesa giratória de levitação pneumática é 2 300 r·min^-1, com o aumento da velocidade, a espessura do filme de ar não muda diretamente, mas a distribuição de pressão muda significativamente, e a capacidade de suporte diminui gradativamente, resultando em mudanças na espessura do filme de ar. As mudanças no balanço angular e na velocidade de rotação causam mudanças na capacidade de suporte da mesa giratória de levitação pneumática; para manter o equilíbrio das forças, a posição da mesa muda consequentemente. Este estudo fornece uma base teórica para pesquisas futuras sobre erro dinâmico de rotação.

mesa giratória de levitação pneumática ultraprecisa;balanço angular;velocidade de rotação;método das diferenças finitas;características estáticas