Construção de um sistema experimental para medição de vibrações baseado em um interferômetro F-P com uma sonda de fibra óptica GRIN ultra pequena, utilizando uma mesa de deslocamento nanométrico de alta precisão como alvo vibratório medido. Com base na análise do desempenho operacional do interferômetro F-P integrado com a sonda de fibra GRIN ultra pequena, foram realizados múltiplos experimentos de medição das microvibrações do objeto testado, coletando dados experimentais e analisando o desempenho experimental desse interferômetro F-P integrado. Os resultados experimentais mostram que, sob as condições experimentais dadas, os parâmetros de desempenho do interferômetro de fibra F-P são melhores para amplitudes de 200~300 nm, com linearidade mínima de 0,42%, sensibilidade correspondente de 7,507 V/μm e desvio padrão máximo de repetibilidade de 0,232 V; nas faixas de 10~100 nm e 350~500 nm, o sistema de medição de vibrações do interferômetro apresenta boa repetibilidade, com desvio padrão inferior a 0,102 V. Este sistema de interferômetro F-P tem viabilidade para medir microvibrações e espera-se que seja aplicado em campos de medição precisa de microvibrações e deslocamentos.

Sensores de fibra óptica; Interferômetro F-P; Sonda de fibra ultra pequena; Medição de microvibrações